|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式： |
| 电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 09, 页码: 2149-2157
作者: 张旭; 赖磊捷; 李朋志 ; 朱利民
 浏览 |  Adobe PDF(1955Kb) |  收藏 | 浏览/下载：164/48 | 提交时间：2022/06/29 |
| Closed-loop inverse iterative learning control in frequency-domain for electromagnetic driven compliant micro-positioning platform 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2021, 卷号: 29, 期号: 9, 页码: 2149-2157
作者: X. Zhang; L.-J. Lai; P.-Z. Li and L.-M. Zhu
浏览 | Adobe PDF(1955Kb) | 收藏 | 浏览/下载：149/51 | 提交时间：2022/06/13 |
| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
浏览 | Adobe PDF(4373Kb) | 收藏 | 浏览/下载：286/91 | 提交时间：2018/06/13 |
| Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者: Chen, Q.
 Adobe PDF(791Kb) | 收藏 | 浏览/下载：349/110 | 提交时间：2017/09/11 |
| 应用于三维STORM超分辨率成像的轴向纳米定位技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 张世超
Adobe PDF(2968Kb) | 收藏 | 浏览/下载：373/3 | 提交时间：2016/04/11
三维 超分辨率成像 荧光显微镜 柱透镜 标定曲线 |
| Active control technology to correct the quality of the grating wave-front 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1
作者: Yang, C.; H. Yu; S. Zhang; H. Yu; X. Li and Y. Tang
Adobe PDF(1479Kb) | 收藏 | 浏览/下载：369/111 | 提交时间：2016/08/24 |
| 压电陶瓷两维偏摆镜驱动系统的设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 吴伊玲
Adobe PDF(2287Kb) | 收藏 | 浏览/下载：399/2 | 提交时间：2016/04/11
压电陶瓷 两维偏摆镜 驱动控制系统 改进非对称pi迟滞模型 前馈pid控制 |
| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 毛石磊
Adobe PDF(3933Kb) | 收藏 | 浏览/下载：314/2 | 提交时间：2016/04/11
菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
作者: 陈琦; 钟君
caj(165Kb) | 收藏 | 浏览/下载：334/117 | 提交时间：2015/04/17
压电陶瓷 纳米定位 气浮导轨 激光干涉仪 |
| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
Adobe PDF(5623Kb) | 收藏 | 浏览/下载：497/2 | 提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
