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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors
期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
作者:
Zhang, D.
;
X. Li
;
C. Ge
;
M. Ni and K. Guo
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提交时间:2017/09/11
Compliance analysis for thinned right-circular flexure hinge with three degrees of freedom
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 页码: 425-431
作者:
Guo, K.
;
M.-Y. Ni
;
Z. Sun
;
H.-N. Chen and D.-P. Wang
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提交时间:2016/08/24
极微小电容的检测技术研究
学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:
冯佳
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提交时间:2015/05/03
电容传感器
电容检测
交流激励式
电容桥
开关检波
光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析
期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117
作者:
彭海峰
;
孙振
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提交时间:2015/04/17
光刻物镜
光学元件
精密轴向调节
面形分析
柔顺铰链
固有频率特性
6-PSS型光学元件精密轴向调节机构
期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 10, 页码: 2648-2655
作者:
郭抗
;
巩岩
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提交时间:2014/03/07
光刻物镜
光学元件
调节机构
并联机构
一体化结构
6-pss