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| Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3 作者: Dong, L.; Q. Cui; P. Li and L. Zhao
Adobe PDF(4130Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:377/123  |  提交时间:2018/06/13 |
| 利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 279-284 作者: 赵阳; 王平 ; 史振广; 谷勇强 ; 刘春来 ; 门树东![](/image/person.jpg)
caj(3398Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:301/112  |  提交时间:2016/07/06 几何光学 三叶像差 面形精修 条纹泽尼克多项式 |
| 自由曲面表征函数及其应用研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 王超![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(5325Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:606/3  |  提交时间:2014/08/21 |
| 含非球面头罩的光学系统像差校正技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 王超![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(4139Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:359/4  |  提交时间:2014/08/21 |
| S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2013 作者: 赵菲菲
Adobe PDF(2200Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:430/1  |  提交时间:2014/03/15 计算机辅助装调 S-h波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取 |