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Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Zhang, Chao;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
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Quantum theory  Fabrication  Genetic algorithms  Magnetron sputtering  Multilayers  Reflection  
Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:  Zhang, C.;  J. Zhang;  Y. Wang;  S. Kuang and Y. Xie
Adobe PDF(1065Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/86  |  提交时间：2018/06/13
Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:  Yu, B.;  C. Li;  C. Jin and C. Wang
Adobe PDF(1342Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/67  |  提交时间：2017/09/11
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225
作者:  喻波;  李春;  金春水
caj(458Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：533/137  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  Mo/si多层膜  扩散系数  掠入射x射线反射谱  四层模型  极紫外  
基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11
作者:  喻波;  李春;  金春水
Adobe PDF(568Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：440/124  |  提交时间：2012/05/11