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粗糙度对极紫外投影光刻掩模的影响 期刊论文
光电工程, 2005, 期号: 10, 页码: 80-83
作者:  杨雄;  金春水;  姚志华;  曹健林
caj(1187Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：466/106  |  提交时间：2013/03/11
极紫外投影光刻  掩模  粗糙度  反射光谱  多层膜  
X射线W/B_4C宽带多层膜的优化设计和制备 期刊论文
光学学报, 2005, 期号: 10, 页码: 139-141
作者:  姚志华;  金春水;  杨雄;  张立超;  金伟华;  曹健林
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X射线光学  宽带多层膜  评价函数  遗传算法  磁控溅射  
极紫外多层膜残余应力初步研究 期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 期号: 03, 页码: 377-380
作者:  向鹏;  金春水;  张立超;  金伟华;  刘颖敏;  曹健林
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极紫外  多层膜  残余应力  
利用x射线激光干涉诊断等离子体电子密度 期刊论文
物理学报, 2005, 期号: 01, 页码: 202-205
作者:  王琛;  王伟;  孙今人;  方智恒;  吴江;  傅思祖;  马伟新;  顾援;  王世绩;  张国平;  郑无敌;  张覃鑫;  彭惠民;  邵平;  易葵;  林尊琪;  王占山;  王洪昌;  周斌;  陈玲燕;  金春水
caj(59Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：510/93  |  提交时间：2013/03/11
等离子体电子密度诊断  X射线激光  马赫-曾德尔干涉仪