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软X射线掠入射望远镜的成像质量评价 期刊论文
光学精密工程, 2019, 卷号: 27, 期号: 10, 页码: 2136-2143
作者:  刘鹏;  陈波;  张亚超;  何玲平;  王孝东
caj(444Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：125/39  |  提交时间：2020/08/24
X射线光学  掠入射望远镜  像质评价  表面散射  面形误差  
平面圆孔微通道板用于X射线聚光的理论预测 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 09, 页码: 394-402
作者:  赵大春;  陈波;  刘鹏;  张宏吉
caj(1569Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：263/104  |  提交时间：2016/07/06
X射线光学  微通道板  相对光照度增益  Trace Pro仿真  
X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(977Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：673/130  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  功率密度分布  热平衡  面形误差  有限元分析  
极紫外光刻离轴照明技术研究 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  卢增雄
caj(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：572/105  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  极紫外光刻  分辨率增强  离轴照明阴影效应  光刻胶  
方孔微通道板结构缺陷对成像质量的影响 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 92-101
作者:  李旭;  何飞;  李达;  陈波
caj(2870Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：578/134  |  提交时间：2013/03/11
成像系统  X射线光学  微通道板  光线追迹  结构缺陷  
X射线W/B_4C宽带多层膜的优化设计和制备 期刊论文
光学学报, 2005, 期号: 10, 页码: 139-141
作者:  姚志华;  金春水;  杨雄;  张立超;  金伟华;  曹健林
caj(88Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：474/84  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  宽带多层膜  评价函数  遗传算法  磁控溅射  
高能X射线聚焦组合透镜的理论研究 期刊论文
光学学报, 2004, 期号: 04, 页码: 572-576
作者:  乐孜纯;  梁静秋
caj(77Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：587/79  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  X射线聚焦组合透镜  衍射屏函数  二阶中心矩  组合透镜结构参量  焦点光强分布  
长波长软X射线多层膜的设计与制备 期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 04, 页码: 10-11
作者:  王国田
caj(114Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：350/90  |  提交时间：2013/03/11
多层膜:7841  软x射线:5696  长波长:1722  离子束:1191  反射率计:682  软x射线光学:620  反射镜:575  正入射:458  扩展x射线吸收精细结构:419  膜系设计:341  
28.4nm和30.4nm波段的C/Si多层膜 期刊论文
光学仪器, 1999, 期号: Z1, 页码: 200-203
作者:  王国田;  马月英;  曹健林
caj(60Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/55  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  多层膜反射镜  离子束溅射  
光电子学与光电子产业专题系列介绍 用于X射线光学的多层膜 期刊论文
物理, 1991, 期号: 05, 页码: 288-291
作者:  曹健林
caj(233Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：450/70  |  提交时间：2013/03/11
X射线多层膜:7003  X射线光学:4880  光电子产业:2969  光电子学:2348  波段:1785  多层膜反射镜:1659  反射率测量:1338  膜厚控制:1314  X射线激光:1311  软x射线:1269