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大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：178/0  |  提交时间：2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
残余应力与基底效应对光栅厚铝膜纳米压痕耦合影响研究 期刊论文
制造技术与机床, 2018, 期号: 06, 页码: 58-62
作者:  张宝庆;  王占鹏;  庞壮;  韦赟杰;  孙立华;  高劲松
收藏  |  浏览/下载：200/0  |  提交时间：2019/09/17
残余应力  基底效应  纳米压痕  衍射光栅  
中阶梯衍射光栅厚铝膜硬度研究 期刊论文
制造技术与机床, 2018, 期号: 02, 页码: 96-99
作者:  张宝庆;  王占鹏;  高劲松
收藏  |  浏览/下载：215/0  |  提交时间：2019/09/17
衍射光栅  铝膜  基底  硬度  尺度效应