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精密光学系统的热像差 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3033-3040
作者:  张巍;  于新峰;  周连生;  王学亮;  倪明阳;  彭海峰
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精密光学系统  激光辐照  投影光刻物镜  热像差  
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者:  徐象如;  黄玮;  贾树强;  徐明飞
caj(1710Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/96  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  投影光刻物镜  热像差  元件位移  分区加热