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用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77
作者:  高松涛;  武东城;  于长淞
caj(3281Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：379/106  |  提交时间：2017/09/17
测量  计算全息图  非球面  投影光刻物镜  衍射鬼像  干涉仪  
高精度曲率半径测量研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 1, 页码: 105-111
作者:  彭石军;  苗二龙;  史振广;  陈华;  隋永新;  杨怀江
caj(2325Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/66  |  提交时间：2015/04/17
测量  曲率半径  轴向对准误差  环境补偿  菲佐干涉仪