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掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者:  杨旺;  黄玮;  尚红波
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光刻  光学设计  光刻投影物镜  畸变  勒让德多项式  公差分析  
坐标缩放激光角谱传输及在激光光学系统中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 03, 页码: 617-625
作者:  王挺峰;  刘立生;  郭劲;  陈长青
caj(478Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：295/88  |  提交时间：2016/07/06
激光光学系统  角谱传输  激光传输  Collins公式  公差分析