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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [1]
作者
邓文渊 [1]
金春水 [1]
李春 [1]
喻波 [1]
姚舜 [1]
文献类型
期刊论文 [2]
发表日期
2020 [1]
2013 [1]
语种
中文 [1]
出处
光学学报 [2]
资助项目
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期刊影响因子降序
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
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提交时间:2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析
期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:
杨旺
;
黄玮
;
许伟才
;
尚红波
caj(1531Kb)
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提交时间:2014/03/07
光学设计
杂散光
功率谱密度
公差分析
光刻物镜