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极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：519/188  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/114  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法  
极紫外光学器件辐照污染检测技术 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：438/154  |  提交时间：2015/04/17
极紫外光刻  碳污染检测  光纤椭偏仪