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An accurate method for measuring interference fringe period in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 7
作者:  Jiang, S.;  Bayanheshig;  M. Pan;  W. Li and Y. Song
caj(3588Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：277/54  |  提交时间：2016/08/24
Effect of period setting value on printed phase in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 9
作者:  Jiang S.;  Bayanheshig;  Li W.;  Song Y.;  Pan M.
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：392/59  |  提交时间：2015/04/24
Effect of measured interference fringe period error on groove profile of grating masks in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 4
作者:  Jiang S.;  Bayanheshig;  Song Y.;  Pan M.;  Li W.
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