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像元映射比对半实物仿真实验影响的研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 278-284
作者:  张建忠;  王健;  孙强;  党博石;  李伟
caj(7742Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：250/65  |  提交时间：2015/04/17
图像处理  半实物仿真  调制传递函数  像元映射比  随机靶标  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：510/185  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
基于三波段光学成像系统的地物辐亮度系数测量 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 6, 页码: 126-130
作者:  郭帮辉;  黄剑波;  刘建卓;  王健;  孙强
caj(208Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/120  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  辐亮度系数  三波段  紫外波段  近红外波段  辐亮度标定  漫反射板  
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：439/111  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法