中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助

限定条件            
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:  代晓珂;  金春水;  王丽萍;  于杰
caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/116  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制  
棱镜-光栅组合色散型超光谱成像系统的优化设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 140-148
作者:  杨增鹏;  唐玉国;  巴音贺希格;  潘明忠;  崔继承;  杨晋
caj(623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：605/167  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  棱镜-光栅组合  矢量建模  光学设计  体相位全息透射光栅  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：512/186  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒