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光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者:  糜小涛;  于海利;  于宏柱;  齐向东;  李晓天;  万秋华
caj(3271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：722/127  |  提交时间：2018/04/09
衍射光栅  阿贝误差  衍射波前  刻线位置误差  刻划机  
移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者:  宋莹;  赵旭龙;  姜岩秀;  巴音贺希格;  齐向东
caj(373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/131  |  提交时间：2018/04/09
全息  全息光栅  干涉条纹锁定  分束光栅  叠栅条纹