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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:238/0  |  提交时间:2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  赵菲菲
Adobe PDF(2200Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:423/1  |  提交时间:2014/03/15
计算机辅助装调  S-h波前传感器  投影光刻物镜  质心探测精度  阈值选取  
基于FPGA的SPGD自适应光学控制平台研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  张超
Adobe PDF(2450Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:275/1  |  提交时间:2014/03/15
Spgd  自适应光学  Fpga  硬件设计  
液晶自适应光学技术的工程化研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  穆全全
Microsoft Word(13640Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:347/3  |  提交时间:2013/02/28
基于FPGA的超光谱成像仪指向反射镜控制系统设计 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  李峥辉
Microsoft Word(3381Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:251/2  |  提交时间:2013/02/28