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离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者:  才玺坤;  张立超;  时光;  贺健康;  武潇野;  梅林
caj(317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:377/147  |  提交时间:2017/09/17
离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性  
P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  靳京城
Adobe PDF(2780Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:360/2  |  提交时间:2014/08/21