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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:200/0  |  提交时间:2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
液晶波前校正器和变形镜高低阶自适应校正方法的初探 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  张亚超
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自适应光学  液晶波前校正器  变形镜  大口径望远镜  
光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  张艳微
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干涉检测  绝对检测  旋转法绝对检测  误差分析  
四棱锥波前传感技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  张彦夫
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自适应光学  波前传感  四棱锥传感器  数值仿真  
差分五棱镜扫描法在大口径波前检测中的应用 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  汤兆鑫
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测量  波前检测  差分五棱镜扫描法  误差分析  
大气湍流格林伍德频率测量方法的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  瞿青
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大气湍流  格林伍德频率  位相差值法  波前重构  
光学表面频段误差对成像质量的影响研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  曾雪锋
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基于焦面图像信息的波前探测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  马鑫雪
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人眼波像差动态特性及微血管像面捕捉的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  郑贤良
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S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  赵菲菲
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计算机辅助装调  S-h波前传感器  投影光刻物镜  质心探测精度  阈值选取