中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	光栅精密位移测量技术发展综述期刊论文中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 741-752 作者: 高旭; 李舒航; 马庆林; 陈伟 caj(445Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：174/74 \| 提交时间：2020/08/24 位移测量光栅高精度测量衍射干涉
	Development of grating-based precise displacement measurement technology 期刊论文 Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 741-752 作者: X.Gao; S.-H.Li; Q.-L.Ma; W.Chen 浏览 \| Adobe PDF(684Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：231/101 \| 提交时间：2020/08/24 Displacement measurement,Diffraction gratings,Machinery,Manufacture

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