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电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 606-615
作者:  朱春霖;  胡昊;  焦庆斌;  谭鑫;  巴音贺希格
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金属光栅  在线监测  严格耦合波理论  占宽比  电流密度  能量损耗  
摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅 期刊论文
强激光与粒子束, 2019, 卷号: 31, 期号: 06, 页码: 7-15
作者:  王琼;  沈晨;  谭鑫;  齐向东;  巴音贺希格
caj(1030Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:255/33  |  提交时间:2020/08/24
凸面闪耀光栅  摆动刻蚀  衍射效率  成像光谱仪