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X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 10, 页码: 2347-2354
作者:  龚学鹏;  卢启鹏
caj(1505Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：327/129  |  提交时间：2016/07/06
X射线干涉光刻  热分析  数值模拟  同步辐射  
Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:  Wang, X.;  C. Jin;  C. Li and S. Kuang
浏览  |  Adobe PDF(1950Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：312/121  |  提交时间：2016/08/24
Design of a varied-line-space plane grating in EUV spectrum 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 1
作者:  Jiang, Y.;  Bayanheshig;  S. Yang;  X. Zhao;  W. Li and N. Wu
浏览  |  Adobe PDF(1560Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：419/130  |  提交时间：2016/08/24