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Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  H. Yu;  X. Li;  S. Zhang;  S. Jiang and L. Yin
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Angle error investigation in laser tracker testing large aspheric mirrors 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 11
作者:  Liu, L.;  X. Chen;  L. Xiong;  F. Zhang and D. Xue
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Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Yao, C. and Y. Gong
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