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光刻物镜主动变形镜像差补偿分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 238-244
作者:  东立剑;  赵磊;  张德福;  于新峰;  倪明阳;  李显凌
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/71  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  主动光学  像散补偿  有限元分析  
应用于TMA系统的智能光瞳技术(英文) 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 5, 页码: 78-83
作者:  闫锋
caj(1291Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：329/79  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  智能光瞳  波前编码  变形镜  相位参差