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| 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816 作者: 陈家华; 龚学鹏 ; 薛松; 卢启鹏 ; 彭忠琦 ; 宋源; 王依![](/image/person.jpg)
caj(440Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:471/123  |  提交时间:2018/04/09 同步辐射 光发射电子显微镜(Peem) X射线显微镜 Kb镜 结构设计 |
| X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150 作者: 龚学鹏 ; 卢启鹏 ; 彭忠琦![](/image/person.jpg)
caj(308Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:276/109  |  提交时间:2015/04/17 上海同步辐射光源 X射线干涉光刻 偏转镜 结构设计 精度测试 |
| 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747 作者: 高飒飒; 卢启鹏 ; 彭忠琦 ; 龚学鹏![](/image/person.jpg)
caj(821Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:474/134  |  提交时间:2014/03/07 X射线干涉光刻光束线 精密狭缝 四刀结构 重复精度 有限元分析 |
| 谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测 期刊论文 光学精密工程, 2012, 期号: 03, 页码: 514-519 作者: 马磊; 卢启鹏 ; 彭忠琦![](/image/person.jpg)
caj(363Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:497/108  |  提交时间:2013/03/11 变包含角平面光栅单色仪 谱学显微光束线 光斑水平漂移 误差分析 |
| 变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测 期刊论文 光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 7, 页码: 1548-1553 作者: 卢启鹏 ; 马磊; 彭忠琦![](/image/person.jpg)
caj(512Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:383/59  |  提交时间:2012/09/25 |
| 六杆并联机构运动学正解研究及其在同步辐射光束线中的应用 期刊论文 光学精密工程, 2008, 期号: 10 作者: 卢启鹏 ; 彭忠崎
caj(201Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:328/93  |  提交时间:2012/09/25 |
| BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性 期刊论文 光学精密工程, 1993, 期号: 01, 页码: 13-21 作者: 邵景鸿; 徐正良
caj(934Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:389/66  |  提交时间:2013/03/11 X射线光刻 光束线 真空 扫描 铍窗 |