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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [4]
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期刊论文 [4]
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2014 [2]
2013 [2]
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中文 [4]
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光学学报 [4]
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出处:光学学报
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投影光刻物镜的计算机辅助装调
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 6, 页码: 206-211
作者:
赵菲菲
;
唐剑宇
;
黄玮
;
许伟才
caj(292Kb)
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浏览/下载:302/109
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提交时间:2015/04/17
光学设计
计算机辅助装调
投影光刻物镜
奇异值分解
畸变
光学系统计算机辅助装调的坐标基准过渡方法
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 235-240
作者:
顾志远
;
颜昌翔
;
胡春晖
;
王洋
;
高志良
;
刘伟
caj(198Kb)
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浏览/下载:424/125
  |  
提交时间:2015/04/17
光学设计
光学系统装调
计算机辅助装调
坐标基准过渡
最小二乘法
离轴自由曲面三镜反射系统的装调技术
期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 76-82
作者:
王超
;
张新
;
王灵杰
;
张建萍
;
张继真
caj(444Kb)
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浏览/下载:474/184
  |  
提交时间:2014/03/07
光学设计
离轴自由曲面
装调基准
计算全息
计算机辅助装调
修正泽尼克多项式
基于人工神经网络方法的自由曲面光学系统装调
期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 89-94
作者:
王钰
;
张新
;
王灵杰
;
王超
caj(345Kb)
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浏览/下载:581/172
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提交时间:2014/03/07
成像系统
计算机辅助装调
人工神经网络
自由曲面