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投影光刻物镜的计算机辅助装调 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 6, 页码: 206-211
作者:  赵菲菲;  唐剑宇;  黄玮;  许伟才
caj(292Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:302/109  |  提交时间:2015/04/17
光学设计  计算机辅助装调  投影光刻物镜  奇异值分解  畸变  
光学系统计算机辅助装调的坐标基准过渡方法 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 235-240
作者:  顾志远;  颜昌翔;  胡春晖;  王洋;  高志良;  刘伟
caj(198Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:424/125  |  提交时间:2015/04/17
光学设计  光学系统装调  计算机辅助装调  坐标基准过渡  最小二乘法  
离轴自由曲面三镜反射系统的装调技术 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 76-82
作者:  王超;  张新;  王灵杰;  张建萍;  张继真
caj(444Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:474/184  |  提交时间:2014/03/07
光学设计  离轴自由曲面  装调基准  计算全息  计算机辅助装调  修正泽尼克多项式  
基于人工神经网络方法的自由曲面光学系统装调 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 89-94
作者:  王钰;  张新;  王灵杰;  王超
caj(345Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:581/172  |  提交时间:2014/03/07
成像系统  计算机辅助装调  人工神经网络  自由曲面