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空间调制傅里叶变换红外光谱仪分束器楔形误差分析 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 10, 页码: 294-299
作者:  吕金光;  梁静秋;  梁中翥;  秦余欣;  田超
caj(315Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/121  |  提交时间：2015/04/17
光谱学  分束器  楔形误差  误差分析  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：494/181  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
中波红外傅里叶变换成像光谱仪后置成像系统分析与设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 6, 页码: 246-252
作者:  王文丛;  梁静秋;  梁中翥;  吕金光;  秦余欣;  田超;  王维彪
caj(294Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：398/104  |  提交时间：2015/04/17
光学器件  傅里叶变换成像光谱仪  光学系统分析与设计  多级微反射镜  中波红外  
长程轮廓仪菲涅耳双棱镜对分束结构 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 1, 页码: 207-212
作者:  廖家胜;  巩岩;  张巍;  李晶;  李春才;  姚长呈;  闵林
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：304/124  |  提交时间：2015/04/17
测量  长程轮廓仪  分束结构  菲涅耳双棱镜  
基于人工神经网络方法的自由曲面光学系统装调 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 89-94
作者:  王钰;  张新;  王灵杰;  王超
caj(345Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：565/165  |  提交时间：2014/03/07
成像系统  计算机辅助装调  人工神经网络  自由曲面