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Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5
作者:  Song, Y.;  X. Zhao;  Y. Jiang;  Bayanheshig and X. Qi
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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
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Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者:  Liu, Z.;  W. Li;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang;  X. Li and Q. Lu
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Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  X. Mi;  S. Jiang;  H. Yu;  X. Li and L. Yin
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Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang and M. Pan
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Design of a varied-line-space plane grating in EUV spectrum 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 1
作者:  Jiang, Y.;  Bayanheshig;  S. Yang;  X. Zhao;  W. Li and N. Wu
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Spectral detection with high spectral resolution and high signal-to-noise ratio based on remote sensing monitoring 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 页码: 229-238
作者:  Zhang, H.;  Y.-Q. Zheng;  W.-Q. Wang;  C. Lin and D.-B. Liu
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平面全息光栅刻线密度的倍频式调整方法 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 10, 页码: 1005003-1
作者:  巴音贺希格;  李文昊;  孔鹏
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制作平面全息光栅的离轴抛物镜/洛埃镜干涉系统 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 56-63
作者:  巴音贺希格;  崔继承;  李文昊;  齐向东
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