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Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
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Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:  Zhang, C.;  J. Zhang;  Y. Wang;  S. Kuang and Y. Xie
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Mineral spectrum measurement based on shortwave infrared imaging spectrometer 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 2
作者:  Sun, C.;  X. Yao;  J. Cui;  L. Yin and J. Yang
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Polarization aberration analysis of coherent laser communication system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 11
作者:  Yang, Y.;  C. Yan;  C. Hu and C. Wu
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Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:  Wang, X.;  C. Jin;  C. Li and S. Kuang
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Extreme ultraviolet lithography objective design based on grouping and graphical user interface 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 12
作者:  Wang, J.;  L. Wang;  C. Jin;  L. Miao and Y. Xie
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