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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [6]
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2017 [2]
2016 [2]
2015 [2]
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中文 [4]
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Guangxue X... [6]
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EI [6]
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收录类别:EI
出处:Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica
文献类型:期刊论文
专题:中科院长春光机所知识产出
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Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:
Dong, L.
;
Q. Cui
;
P. Li and L. Zhao
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提交时间:2018/06/13
Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:
Zhang, C.
;
J. Zhang
;
Y. Wang
;
S. Kuang and Y. Xie
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提交时间:2018/06/13
Mineral spectrum measurement based on shortwave infrared imaging spectrometer
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 2
作者:
Sun, C.
;
X. Yao
;
J. Cui
;
L. Yin and J. Yang
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浏览/下载:286/90
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提交时间:2017/09/11
Polarization aberration analysis of coherent laser communication system
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 11
作者:
Yang, Y.
;
C. Yan
;
C. Hu and C. Wu
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浏览/下载:541/121
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提交时间:2017/09/11
Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:
Wang, X.
;
C. Jin
;
C. Li and S. Kuang
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提交时间:2016/08/24
Extreme ultraviolet lithography objective design based on grouping and graphical user interface
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 12
作者:
Wang, J.
;
L. Wang
;
C. Jin
;
L. Miao and Y. Xie
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提交时间:2016/08/24