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基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2303-2308
作者:  谭鑫;  沈晨;  吴娜;  张方程;  巴音贺希格
caj(754Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：509/144  |  提交时间：2014/03/07
凹面光栅  闪耀光栅  分区法  衍射效率  离子束刻蚀  
利用亚波长矩形金属光栅稳定980nm高功率垂直腔面发射激光器偏振（英文） 期刊论文
发光学报, 2013, 期号: 09, 页码: 1188-1193
作者:  张祥伟;  宁永强;  秦莉;  刘云;  王立军
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：722/196  |  提交时间：2014/03/07
垂直腔面发射激光器  金属光栅  偏振控制  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：492/139  |  提交时间：2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
全球面变焦距光刻系统设计 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 06, 页码: 262-267
作者:  吕博;  刘伟奇;  康玉思;  冯睿;  柳华;  魏忠伦
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：478/152  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  变焦距光学系统  光刻物镜  球面设计  
点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展 期刊论文
激光与光电子学进展, 2013, 期号: 03, 页码: 33-39
作者:  于长淞;  向阳
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光学器件  小孔掩模  电磁场仿真  波像差