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| 6-PSS型光学元件精密轴向调节机构 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 10, 页码: 2648-2655 作者: 郭抗; 巩岩 caj(587Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:490/84  |  提交时间:2014/03/07 光刻物镜 光学元件 调节机构 并联机构 一体化结构 6-pss |
| 基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2303-2308 作者: 谭鑫; 沈晨; 吴娜; 张方程; 巴音贺希格 caj(754Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:496/139  |  提交时间:2014/03/07 凹面光栅 闪耀光栅 分区法 衍射效率 离子束刻蚀 |
| 基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007 作者: 于新峰; 巩岩; 倪明阳; 秦硕 caj(621Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:425/169  |  提交时间:2014/03/07 投影物镜 运动学支撑结构 光学表面面形 夹持力 复现性 有限元法 Zernike多项式 |
| 具有低空气隙敏感度的雪花单元频率选择表面 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 1949-1956 作者: 王岩松; 高劲松; 陈新; 赵晶丽 caj(978Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:431/101  |  提交时间:2014/03/07 频率选择表面(Fss) 隐身雷达罩 空气隙 雪花单元 |
| 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747 作者: 高飒飒; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏 caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:474/134  |  提交时间:2014/03/07 X射线干涉光刻光束线 精密狭缝 四刀结构 重复精度 有限元分析 |
| 光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433 作者: 赵磊; 巩岩; 赵阳 caj(1756Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:417/130  |  提交时间:2014/03/07 光刻物镜 柔性铰链 微动调整机构 系统波像差 |
| 大时间热响应常数投影物镜的超高精度温度控制 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 01, 页码: 108-114 作者: 秦硕; 巩岩; 袁文全; 杨怀江 caj(2080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:421/86  |  提交时间:2014/03/07 投影物镜 温度控制 串级控制 大时滞 模型预测 前馈补偿 |