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极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：252/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
靶场紫外望远系统光学设计 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 10, 页码: 267-272
作者:  李博
caj(889Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：296/70  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  靶场测量  紫外遥感  紫外成像  
非均匀混合调制光栅衍射效率计算方法及特性分析 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 220-229
作者:  何天博;  巴音贺希格;  张善文;  李文昊;  唐玉国
caj(658Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/103  |  提交时间：2015/04/17
光栅  体全息光栅  衍射特性  混合调制  衰减光栅  
非均匀膨胀与收缩下反射体全息光栅衍射特性分析 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 2, 页码: 141-148
作者:  何天博;  巴音贺希格;  齐向东;  李文昊;  唐玉国
caj(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：281/90  |  提交时间：2015/04/17
光栅  反射体全息光栅  衍射特性  非均匀膨胀或收缩  膨胀因子  角度和波长选择性