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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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出处:光学学报
发表日期:2015
专题:中科院长春光机所知识产出
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利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 279-284
作者:
赵阳
;
王平
;
史振广
;
谷勇强
;
刘春来
;
门树东
caj(3398Kb)
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提交时间:2016/07/06
几何光学
三叶像差
面形精修
条纹泽尼克多项式
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者:
尚红波
;
刘春来
;
张巍
;
陈华男
caj(1604Kb)
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浏览/下载:322/73
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提交时间:2016/07/06
光学制造
投影光刻物镜
膜系
偏振像差
对比度