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High-Performance Ellipsometry with 2-D Expanded Channels for Spectroscopy and Polarization Analysis 期刊论文
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, 2021, 卷号: 70
作者:  H. Tu;  Y. Zheng;  Y. Shan;  Y. Chen;  H. Zhang;  P. Liu;  H. Zhao;  R. Zhang;  S. Wang;  J. Li;  H. Yu;  Y. Lee and L. Chen
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