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PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/95  |  提交时间：2017/09/17
氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度  
扩散掺杂的p型ZnO薄膜的光学性质研究 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2015, 期号: 07, 页码: 1787-1790
作者:  陈芳;  房丹;  王双鹏;  方铉;  唐吉龙;  赵海峰;  方芳;  楚学影;  李金华;  王菲;  王晓华;  刘国军;  马晓辉;  魏志鹏
caj(209Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/122  |  提交时间：2016/07/06
扩散掺杂  P型zno  P掺杂  原子层沉积  光致发光  
有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究 期刊论文
光电子.激光, 2014, 期号: 5, 页码: 840-844
作者:  骆杨;  李天骄;  段羽
caj(379Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：325/145  |  提交时间：2015/04/17
薄膜封装  水汽透过率(Wvtr)  原子层沉积(Ald)