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音圈电机型快速反射镜的驱动控制系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2017, 页码: 1115-1121
作者:  王帅;  曹玉岩
caj(1499Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：296/88  |  提交时间：2018/04/09
快速反射镜  音圈电机  电流环  频率特性测试  谐振抑制  
转台伺服系统被控对象的频率特性测试 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 5, 页码: 244-247
作者:  张敏;  陈涛;  李洪文;  巩明德;  杨飞
caj(225Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：297/107  |  提交时间：2017/09/17
伺服系统  辨识  频率特性  传递函数  
光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117
作者:  彭海峰;  孙振
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：248/91  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  光学元件  精密轴向调节  面形分析  柔顺铰链  固有频率特性