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基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
作者:  陈琦;  钟君
caj(165Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：328/114  |  提交时间：2015/04/17
压电陶瓷  纳米定位  气浮导轨  激光干涉仪