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精密光学系统的热像差 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3033-3040
作者:  张巍;  于新峰;  周连生;  王学亮;  倪明阳;  彭海峰
caj(299Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：294/136  |  提交时间：2016/07/06
精密光学系统  激光辐照  投影光刻物镜  热像差  
CO_2激光辐照氧化矾热像仪的实验 期刊论文
光学精密工程, 2011, 期号: 02, 页码: 348-353
作者:  张来明;  徐东东;  亓风杰;  王敏;  谢冀江;  郭劲;  吴军辉
caj(523Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：428/67  |  提交时间：2013/03/11
激光辐照效应  热像仪  Co2激光