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| 一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-20, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 王辉 ; 周烽; 王丽萍; 金春水
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| 一种用于ＥＵＶ光刻系统的复眼反射镜制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 金春水; 王辉; 郑琪峰; 周烽; 王丽萍
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| 一种高精度光学元件的装配装置及无应力装配方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-07, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 王辉; 周烽; 郑琪峰; 王丽萍; 金春水
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| 可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 卢增雄; 金春水; 王丽萍
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| 光学系统波像差检测装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 金春水; 王丽萍; 张宇
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| 光学系统波像差标定装置及该装置测试误差的标定方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-11-30, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 金春水; 王丽萍; 张宇
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| 双谱段电晕探测折反射全景光学系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-05-19, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 金春水; 王丽萍
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