可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法 (发明)

	可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法 (发明)
	卢增雄; 金春水; 王丽萍
	2011-12-28
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法，本发明属于参考球面波超高精度检测方法领域，克服了哈特曼波前传感器对波前微小偏差检测的限制，能够实现波前的高精度检测。光路包括：一束入射会聚光波，一块光栅，一个沿正交方向开有三个圆孔的小孔板，一个电荷耦合器，该电荷耦合器的输出端接计算机。一束入射会聚光波经过光栅衍射后，被……
资助项目	102297725A
申请号	201110129360.8
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12012
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	卢增雄,金春水,王丽萍. 可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法 (发明)[P]. 2011-12-28.