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并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 1874-1881
作者:  齐克奇;  向阳;  丁亚林;  方超;  周振平
caj(489Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：406/120  |  提交时间：2018/04/09
并联式  自解耦  微位移平台  嵌套式平行导向机构  有限元方法  
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者:  方超;  向阳
caj(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：345/88  |  提交时间：2015/04/17
测量  横向剪切干涉仪  相移算法  相位复原