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用于微镜制作的叠层光刻胶工艺及残余应力控制 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 11
作者:  张平;  吴一辉
caj(334Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：401/41  |  提交时间：2012/09/25
PDMS氧等离子体长效活性表面处理及与Si的键合 期刊论文
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 5
作者:  张平;  黎海文
caj(320Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/48  |  提交时间：2012/09/25
掩模电镀镍微结构的镀层均匀性研究 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 3
作者:  吴一辉;  张平
caj(392Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：219/33  |  提交时间：2012/09/25
应用于微反射镜制作的光亮镀镍工艺 期刊论文
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 2
作者:  吴一辉;  张平
caj(539Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：263/45  |  提交时间：2012/09/25
基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵 期刊论文
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 1
作者:  吴一辉;  张平
caj(430Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：311/63  |  提交时间：2012/09/25