Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵 | |
吴一辉 ; 张平
| |
| 2008-02-01 | |
| 发表期刊 | 功能材料与器件学报
 |
| 期号 | 1 |
| 摘要 | 基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵。微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁性PDMS(polymethylsiloxane)振动膜。电磁微泵样机的实验结果显示:该微泵的工作性能稳定,整机具有较高的体积功能比,样机尺寸32mm×28mm×10mm,在0.6A电流输入,工作频率为13Hz时,流量可达180μl/min,零流量下的最大背压达2.75mbar。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21502 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉,张平. 基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵[J]. 功能材料与器件学报,2008(1). |
| APA | 吴一辉,&张平.(2008).基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵.功能材料与器件学报(1). |
| MLA | 吴一辉,et al."基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵".功能材料与器件学报 .1(2008). |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵.ca（430KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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