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Effect of period setting value on printed phase in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 9
作者:  Jiang S.;  Bayanheshig;  Li W.;  Song Y.;  Pan M.
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：365/54  |  提交时间：2015/04/24
Effect of measured interference fringe period error on groove profile of grating masks in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 4
作者:  Jiang S.;  Bayanheshig;  Song Y.;  Pan M.;  Li W.
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Drift compensation of infrared imaging system using ambient temperature 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 10
作者:  Yu Y.;  Wang M.;  Chang S.;  Jiang H.
caj(346Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：212/40  |  提交时间：2015/04/24
Acquisition of laser beam characteristics by extended Nijboer-Zernike method 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 10
作者:  Liu M.;  Wang X.;  Wang B.;  Jiang Y.
caj(469Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：229/47  |  提交时间：2015/04/24