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剪切干涉仪精密相移系统的研制 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
作者:  于长淞;  代雷
caj(439Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/96  |  提交时间：2015/04/17
相移干涉  精密相移系统  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  闭环控制