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193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：534/129  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
基于位相分布限制衍射光学元件的散斑抑制方法 期刊论文
光子学报, 2017, 页码: 101-107
作者:  梁传样;  张巍;  芮大为;  隋永新;  杨怀江
caj(1690Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/104  |  提交时间：2018/04/09
衍射光学  散斑抑制  位相调制  衍射光学元件  全息投影显示