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浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:  毕丹丹;  张立超;  时光
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浸没式光刻  光学薄膜  膜系设计  环境适应性  激光辐照寿命  
用高斯光学和三级像差理论求变焦距物镜的初始解 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 06, 页码: 1047-1060
作者:  史光辉
收藏  |  浏览/下载：85/0  |  提交时间：2019/09/17
变焦距  高斯光学  三级像差  光学设计  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Find preliminary solution of zoom objective lens using gaussian optics and third-order aberration theory 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 6, 页码: 1047-1060
作者:  Shi, Guang-Hui
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Aberrations  Gaussian distribution  Optical design  Optical instrument lenses  Optical systems  
Thermal environment adaptability design of space-based infrared imaging system 期刊论文
International Journal of Heat and Technology, 2018, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 293-300
作者:  Hu, Qinglong;  Shi, Guangwei;  Jiang, Fan;  Zhou, Huaide;  Li, Zhaohui;  Yang, Liang;  Zhang, Xuejun
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Thermography (imaging)  Image quality  Imaging systems  Infrared imaging  Optical systems  Thermoanalysis