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一种以锂氮双受主共掺方式制备ｐ型氧化锌基薄膜的方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  卢英杰;  申赫;  孙锋;  单崇新;  张振中;  李炳辉;  申德振
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采用复合模式生长半导体薄膜的方法及装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  单崇新;  鞠振刚;  倪佩楠;  李炳辉;  王双鹏;  申德振
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一种采用均匀进气系统的原子层沉积装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  单崇新;  申赫;  于吉;  刘兴宇;  王双鹏;  李炳辉;  申德振
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