一种以锂氮双受主共掺方式制备ｐ型氧化锌基薄膜的方法 (发明)

	一种以锂氮双受主共掺方式制备ｐ型氧化锌基薄膜的方法 (发明)
	卢英杰; 申赫; 孙锋; 单崇新; 张振中; 李炳辉; 申德振
	2012-06-13
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	一种以锂氮双受主共掺方式制备ｐ型氧化锌基薄膜的方法，本发明属于半导体薄膜制备领域，为克服现有技术中ｐ型ＺｎＯ基薄膜制备方法的可重复性低，制备出的ｐ型ＺｎＯ基薄膜有效性差和掺杂元素掺入量不能够灵活调控等技术缺陷。该方法包括：以具有单晶结构的ＺｎＯ薄膜为平台，用离化的Ｎ、Ｏ等离子体作为Ｎ掺杂源和Ｏ源，高纯金属Ｌｉ作为Ｌｉ掺……
资助项目	102496578A
申请号	201110403687.X
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12118
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	卢英杰,申赫,孙锋,等. 一种以锂氮双受主共掺方式制备ｐ型氧化锌基薄膜的方法 (发明)[P]. 2012-06-13.